江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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圓盒清洗&檢測(cè)解決方案

全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)

Xtrim-FC-A400

設(shè)備概述

適用于Frame FOUP的全自動(dòng)清洗，設(shè)備有專(zhuān)用的Load/Unload;支持RFID等全自動(dòng)清洗和管理。

設(shè)備亮點(diǎn)

設(shè)備特點(diǎn)

1、支持AMHS，全自動(dòng)清洗;

2、兼容各種品牌的FRAME FOUP;

3、低COO;

4、定制化噴嘴設(shè)計(jì)，確保清潔效果;