江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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合作熱線

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槽式清洗設(shè)備

全自動槽式濕法設(shè)備-Cassette Type

Xtrim-BC-A300
Xtrim-BC-A200
Xtrim-BC-A150

設(shè)備概述

Load/Unload、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4……）、QDR、Transfer……Support Tool: CDS /LCDS

設(shè)備亮點

定制化

  • 適配各類藥水

  • 工藝槽體可根據(jù)需求定制

適用性強

  • 適用于5"、6"、8"、12"晶圓

  • 覆蓋襯底制造、集成電路及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域

高效靈活

  • 支持Open Cassette、SMIF、FOUP上下料

  • 模塊化設(shè)計滿足多樣化工藝需求，提升生產(chǎn)效率與靈活性

產(chǎn)能高

  • 支持25片/50片量產(chǎn)，高產(chǎn)能；

  • 按工藝段多套機器人協(xié)同作業(yè)；

智能化的救貨系統(tǒng)

  • 過浸泡救貨系統(tǒng)

  • 異常斷電救貨功能