全自動槽式濕法設備-Cassette Less
Xtrim-BC-L300
設備概述
EFEM、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4……）、QDR、Marangoni Dryer ， Robot、Transfer……Support Tool: CDS /LCDS
設備亮點
定制化
12”FOUP LP
適配各類藥水
工藝槽體可根據需求定制
精準控制
專業(yè)流場、溫控設計
精準配液；依工藝選擇流量計/計量泵/計量桶/濃度計
精確補液：by片數/時間/濃度
高端配置
配置加熱、循環(huán)、兆聲清洗及濃度在線監(jiān)控等技術，增強晶圓清洗效果；
配置Marangoni Dryer確保晶圓干燥，安全生產；
破片偵測
Particle 管控優(yōu)異
CST-Less方式；
專業(yè)的材質選用；
氣體流暢管控系統(tǒng)
先進的干燥系統(tǒng)
智能化的救貨系統(tǒng)
過浸泡救貨系統(tǒng)
異常斷電救貨功能